众所周知,ZYGO继续使用激光干涉测量法在表面形态计量学中保持领导作用。它主要测量曲率半径,表面条纹和透射波前畸变。同时,它可以提高检查过程的准确性和可重复性。主要为平面、球体、圆柱体等。
确保高表面精度,到达 λ/20
主要测量焦距和中心度。自动测量,测量效率高; 精度高,功能强大,测量范围广。
有效焦距测量
中心定心测量: 棱镜角主控,任意两个角
公差 <1 ~ 2”
测量范围 (mm) | ± 5 ~ ± 450 | -450 ~ + 450 |
测量精度 | 0.03% ~ 0.3% | 0.2 μ m |
能够高效地测量各种工件的尺寸、角度和位置。刀具、量具和量具的几何参数。
棱镜角主,任意两个角公差 <1 ~ 2”
行程 (毫米) X x Y x Z | 250x150x200 |
测量分辨率 | 0.5 μ m |
测量精度 | X,Y精度 :( 3 L/200) μ m |
重复性 | 2μm |
光学放大倍率 | 0.7x-4.5倍 |
图像放大 | 28X-180X |
1.经典的Czerny-Turner光学结构,简单,精度高,光谱分辨率好
2,双光栅和双接收器的设计,确保仪器工作波段可以覆盖紫外可见和近红外区域 (uv-vis-nir) 的全范围。
张量27是布鲁克设计的新一代研究级红外光谱仪。实时在线监测和诊断系统是性能优越的可靠保证。
决议 | 0.5厘米-1 |
波数精度 | 更好的0.01厘米-1@ 2000厘米-1 |
吸光度准确度 | 更好的0.01% |
光谱范围 | 1.33-20um |